工業超純水機采用多介質過濾器、活性炭過濾器作及保安過濾器作為前級處理，有效除去原水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機硅膠體、有機物、異味、余氯等雜質，使經過離子交換處理后的水質符合工業生產要求。在經過后端進行精處理系統(混床系統)，使其產水水質滿足生產用水的要求。

　　工業超純水機由預處理系統、精處理系統、后處理系統三大部分組成。原水經石英砂單元、活性炭單元、軟水器單元等預處理系統后，使水中的懸浮物、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以減輕后續的反滲透、電除鹽等精處理系統的處理負荷，延長其使用壽命。

　　工業超純水機使用前的檢查工作：

　　1、檢查純水機管路是否堵塞。

　　2、檢查純水機電源，接通純水機交流電，如果純水機輸入電源正常，檢查變壓器輸出電壓。

　　3、檢查高壓開關。

　　4、檢查進水電磁閥，是否正常。擰開電磁閥出水口，接通電源，檢查是否通水，如不通水，轉入下一步檢測。

　　5、打開原水球閥，檢測反滲透膜前濾芯是否堵塞 如堵塞更換，如果通水，電磁閥損壞。

　　6、檢查增壓泵泵后壓力是否達到要求。如果低于0.3MPa 需要更換。

　　7、打開反滲透膜純水口，如不出水，反滲透膜損壞。

　　8、檢查是否廢水排放量過大，使純、廢水比例失調。

　　9、檢查后置活性炭濾芯是否堵塞。